chỉ các vi sinh vật siêu nhỏ kí sinh trên da người.

Lưu lượng dòng khí - thể tích dòng khí lưu thông trong phòng sạch trong mỗi đơn vị thời gian.

Phòng tắm khí - phòng "tắm khí" trong đó có bố trí các vòi phun khí nén để làm sạch con người và vật liệu.. trước khi đi vào phòng sạch.

Hệ thống khung của trần nhà - khung dùng cho việc lắp đặt hệ thống chiếu sáng và lọc không khí cho phòng sạch.

các tấm ngăn chia một phòng sạch thành nhiều khu vực khác nhau.

Quần áo dùng cho người làm việc trong phòng sạch.

là bàn chuyên dụng được làm tư vật liệu chuyên dụng cho phòng sạch

Một không gian được phân định trong đó sự tập trung của các hạt có trong không khí được kiểm soát sao cho ở dưới mức độ cho phép.

sự nhiễm bẩn - các chất nguy hại hoặc chất không mong muốn mà sự có mặt của chúng trong môi trường có thể làm giảm độ tinh khiết của môi trường đó.

Hiện tượng phóng điện, hiện tượng này có thể dễ dàng phá hổng thiết bị bán dẫn.